HIDEN RGA系列四極質(zhì)譜儀殘余氣體分析檢測(cè)容器中的存在組分，或進(jìn)行過程中產(chǎn)生氣體的分析，針對(duì)真空診斷的準(zhǔn)確分析。

應(yīng)用：

1、殘余氣體或泄漏檢測(cè)
2、實(shí)質(zhì)上的泄漏或脫附分析
3、除氣研究
4、烘烤周期
5、泵效能
6、腔室/過程氣體污染物

四極質(zhì)譜儀特點(diǎn)：

1、靈敏度PPM,質(zhì)量數(shù)至300amu
2、穩(wěn)定性（24小時(shí)以上，峰高變化小于±0.5%）
3、MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進(jìn)行多個(gè)系統(tǒng)控制
4、快速顯示柱狀圖、趨勢(shì)分析和信號(hào)峰
5、混合模式掃描－多個(gè)windows窗口顯示信息，例如趨勢(shì)、柱狀圖和信號(hào)峰
6、同步顯示數(shù)據(jù)圖，列表
7、同步背景扣除，自動(dòng)質(zhì)量數(shù)列表
8、數(shù)據(jù)輸出為ASCII格式，至windows設(shè)備
9、即時(shí)動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)交換至其他DDE兼容的windows軟件，例如Excel、SPC-IV統(tǒng)計(jì)過程控制軟件等。